JAI | 웨이퍼 검사를 위한 JAI Go-X 카메라

웨이퍼 검사를 위한 JAI Go-X 카메라


전자 부품 제조에서 정확한 공정은 완벽한 제품을 만들기 위한 필수 조건입니다. 대만에 기반을 두고 있는 맞춤형 프로젝트를 위한 머신 비전 유통 업체이자 시스템 설계자인 Leader Vision은 세계적 수준의 한 대만 반도체 파운드리 기업의 원활한 웨이퍼 생산을 보장하기 위해 JAI 카메라가 탑재된 웨이퍼 OCR 판독 시스템을 개발했습니다.

애플리케이션

전자 산업에서 웨이퍼를 생산할 때 전체 생산 공정에서 각 단일 웨이퍼를 정확히 찾아 추적하기 위해서는 웨이퍼 디스크의 코드를 안정적으로 식별하고 판독할 수 있어야 합니다. 이 작업은 전체 제조 공정 수익성에 중요한 영향을 미치는 어려운 과제입니다.

코드를 찾을 수 없거나 잘못 판독하는 경우 전체 생산 체인이 정지될 수 있으며 이로 인해 많은 비용이 발생할 수 있습니다. 이러한 이유로 웨이퍼 검사에서 안정성과 정확성은 필수 조건입니다.

과제

코드는 반사되는 웨이퍼 표면에 레이저로 새겨져 있기 때문에 전통적인 머신 비전 시스템에서는 식별 및 판독이 어렵습니다. 이전 시스템은 고정 사양의 표준 제품으로 설계되어 고객이 특정 기능을 맞춤화할 수 있을 정도의 유연성을 갖추지 못했기 때문에 충분한 결과를 제공하지 못했습니다.

또 다른 과제는 시스템이 기존 웨이퍼 제조 시설에 쉽게 통합할 수 있는 가볍고 간단한 구조를 가져야 한다는 것이었습니다. 또한 비전 시스템은 보안 OCR 검사 작업을 처리할 뿐만 아니라 광학 문자 검증(OCV), 데이터 및 바코드 판독, 고객이 필요한 경우 향후 시스템을 위한 객체 정렬과 같은 기타 애플리케이션 역시 수행할 수 있을 만큼 높은 유연성을 가져야 했습니다.

솔루션

Leader Vision은 사용 유연성을 높이기 위해 소스 코드를 포함한 전체 시스템을 고객에게 전송할 수 있는 애플리케이션을 위한 특수 임베디드 비전 시스템을 개발하기로 결정했습니다.

새로운 임베디드 비전 시스템은 초당 약 20~30개 코드의 평균 속도로 안정적이고 정확한 코드 인식을 보장합니다. 이 시스템은 딥러닝 기술을 기반으로 한 신뢰할 수 있는 결과를 보장하기 위해 MVTec Software GmbH 사의 HALCON 이미지 처리 소프트웨어에서 제공하는 Deep OCR 기능을 사용합니다. 또한 웨이퍼 OCR 검사를 위한 Leader Vision의 통합 임베디드 시스템의 필수 구성 요소로 JAI의 최신 GOX-2402-PGE 카메라가 사용되었습니다.


Leader Vision 연구소의 웨이퍼 OCR 검사용 임베디드 비전 시스템 셋업
시스템은 딥러닝 기술을 기반으로 한 신뢰할 수 있는 결과를 보장하기 위해 MVTec Software GmbH 사의 HALCON 이미지 처리 소프트웨어에서 제공하는 Deep OCR 기능을 사용합니다.

특장점

Leader Vision이 개발한 맞춤형 임베디드 비전 솔루션은 기존 웨이퍼 생산 시스템과의 단순한 통합을 비롯한 여러 장점을 가집니다. 임베디드 시스템이 필요한 모든 인터페이스와 기능을 훨씬 더 작은 공간에 통합할 수 있기 때문에 기존의 PC 기반 솔루션에 비해 시스템의 하드웨어 구성이 매우 쉬워집니다.

반도체 제조 공정에서 사용되는 클린룸 환경의 공간이 한정되어 있기 때문에 이는 중요한 요소입니다.

또한 임베디드 비전 시스템은 PC 기반 머신 비전 시스템에 비해 경쟁력 있는 가격으로 제공되어 수익성 향상이 보장됩니다. Leader Vision 솔루션은 딥러닝 기술을 통해 추가 검사 작업이 필요한 애플리케이션의 경우에도 사용자에게 시스템 운영을 위한 유연한 옵션을 제공합니다.

Leader Vision의 임베디드 웨이퍼 검사 시스템은 필요한 모든 인터페이스와 기능을 작은 공간에 통합합니다.

카메라

Leader Vision 설계 팀에게 있어 JAI 산업용 에어리어 스캔 카메라 GOX-2402-PGE가 제공하는 컴팩트한 설계와 가성비는 이 작업에 대한 완벽한 솔루션이 되었습니다.

GOX-2402의 해상도와 속도는 본 사용 사례에서 요구하는 고효율 딥러닝 트레이닝과 최상의 결과를 제공하기 위한 고품질 이미지에 이상적이었습니다.

Leader Vision이 이 JAI 카메라를 임베디드 웨이퍼 검사 비전 시스템에 통합하기로 결정한 이유는 컴팩트한 디자인과 매력적인 가격뿐만 아니라 매우 높은 이미지 품질과 산업 등급 안정성과 같은 매력적인 기능들이 결합되어 있기 때문입니다. 이 카메라는 무게가 62g에 불과하며 GigE Vision 인터페이스를 통해 최대 50fps의 속도로 2.3 메가픽셀 Bayer 컬러 출력을 제공합니다.

Leader Vision에 따르면 카메라의 높은 안정성과 뛰어난 가성비는 애플리케이션의 실질적인 가치를 높여주었습니다. Leader Vision의 높은수준의 통합 기술과 JAI 카메라가 결합된 최종 시스템은 웨이퍼의 코드를 안정적으로 판독하기 위한 매우 안정적이고 효율적인 환경을 제공합니다.

JAI GOX-2402C-PGE 카메라는 Leader Vision의 임베디드 웨이퍼 검사 비전 시스템의 중요 구성 요소입니다.

애플리케이션에 필요한 완벽한 머신 비전 카메라를 찾도록 도와드리겠습니다.

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