JAI | JAI Go-X カメラのウェハー検査導入

JAI Go-X カメラのウェハー検査導入


電子部品の製造では、欠陥の無い製品をつくるには正確な処理が前提条件です。台湾に本拠を置き、マシンビジョンディストリビュータでカスタムプロジェクトのシステム設計を行っている Leader Vision 社は、世界規模の台湾大手半導体ファウンドリーの 1 社に、安定したウェハーの製造を保証するため、 JAI 製カメラを使用したウェハー用 OCR(光学式文字認識)システムを開発しました。

アプリケーション

エレクトロニクス産業におけるウェハー製造では、ウェハーディスク上のコードは全製造工程において一枚一枚ピンポイントで追跡されるため、確実に識別・読取りをしなければいけません。そしてその実践は難しい挑戦でありながらも、製造工程全体の収益性に重大な影響をあたえます。


コードを見つけられないか、読み取ったとしても正確でなければ、生産チェーン全体の停止を余技なくされ、その結果、高額な損失を被ることになるかもしれません。このような理由で、ウェハー検査の安定と正確度はどちらも非常に重要な要件です。

挑 戦

コードは反射のあるウェハーの表面にレーザーで印字されているため、その識別や読み取りは従来のマシンビジョンシステムでは難しくなります。従来のシステムでは、固定仕様の標準的な製品用に設計されており、顧客がカスタマイズを望む幾つかの機能において十分にフレキシブルではなかったため、その成果は不十分でした。

もう一つの問題は、システムは既存のウェハー製造設備に容易に統合されるよう、軽量でシンプルな構造でなければならないことでした。その上、ビジョンシステムは OCR 検査の諸問題を確実に解決するだけでなく、光学式文字検証( OCV )、データやバーコードの読み取り、そして必要な場合は、将来のシステムの為、物のアラインメントなど、顧客から要請があったとき対応するよう十分にフレキシブルでなければならなかったのです。

ソリューション

Leader Vision 社はこの用途のため、組み込み型ビジョンシステムを開発することを選びましたが、それはソースコードを含め、システム全体を顧客に提供することが可能となり、顧客がよりフレキシブルに使用することが出来るようにするためでした。

この新しい組み込み型ビジョンシステムは安定かつ正確なコード認識を保証し、平均処理速度はおよそ 20~30 コード/秒、 MVTec Software GmbH 製 HALCON 画像処理ソフトの Deep OCR 機能を使用し、そのシステム内でディープラーニングテクノロジーに基づく信頼性の高い結果を保証します。また、システムには JAI の最新カメラ Go-X-2402-PGE が必須のコンポーネントとしてその構成に組み込まれています。

Leader Vision 社ラボでのウェハー OCR 検査用組み込み型ビジョンシステムのセットアップ
システムは MVTec Software GmbH 製 HALCON 画像処理ソフトウエアのディープ OCR 機能を使用しディープラーニングテクノロジーによる信頼できる結果を得ることができます

メリット

Leader Vision 社の開発したカスタムの組み込み型ビジョンソリューションは、いくつか優れた点があります。まず、ウェハー製造の既存のシステムとシンプルに統合されています。また、はるかに実装面積が小さい組み込み型システムに全て必要なインタフェースと機能が統合され、ハードウエアの構成は一般的なコンピュータベースのシステムに比べてとても使いやすくなっています。半導体の製造プロセスで使用されるクリーンルーム環境はスペースに制約があるため、これは重要な要素の1つとして挙げられます。

さらに、組み込み型ビジョンシステムは、コンピュータベースのシステムと比べて競争力のある価格で提供でき、収益性があがります。そしてディープラーニングテクノロジーの導入により、 Leader Vision 社のソリューションでは、ユーザーにシステムの運用において検査課題の追加が必要となるアプリケーションについてもフレキシブルに選択肢を提供しています。

組み込み型 Leader Vision 社製ウェハー検査システムは必要なインタフェースと機能をすべて統合しており、実装面積が小さい

カ メ ラ

Leader Vision 社の設計チームにとって、 JAI の GOX-2402 PGE エリアスキャンカメラのコンパクトさと価格性能比はこの JAI の産業用エリアスキャンカメラを完璧なソリューションとしました。GOX-2402の解像度とスピードはこの案件には理想的で、ディープラーニングの効率的学習や最良の結果を提供するための高品質画像の必要性にも沿うものでした。

コンパクトなデザインと魅力的な価格に加え、 Leader Vision 社がこの JAI 製カメラをウェハー検査ビジョンシステムに組み込むことに決めたのは、非常に高い画質や産業グレードの信頼性を含めた特性の魅力からでしょう。そしてGOXカメラは重さわずか62グラムで 2.3 メガピクセルのベイヤーカラー画像を 50fjps で GigE Vision インタフェースから出力します。

Leader Vision 社によれば、このカメラの安定性と優れた価格性能比はこの用途に本当の価値を与えたとのことです。 Leader Vision 社のハイレベルなインテグレーション技術と相まって、最終的なシステムはウェハー上のコードを確実に読みとるというタスクに、高安定で効率的な環境を提供しています。

JAI GOX-2402C-PGE カメラは Leader Vision 社の組込み型ウェハー検査ビジョンシステムの重要なコンポーネントです

貴社の装置用途に最適なマシンビジョンカメラを見つけるお手伝いをします。

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